桌面式反应离子增强沉积刻蚀系统采购公告

一、项目基本情况

项目类别：货物

项目编号：05_S2026092002

项目名称：桌面式反应离子增强沉积刻蚀系统

采购方式：比选

预算/最高限价(元)：315000

资金来源：已落实

华东理工大学为部属高校，本项目的采购预算未达到现时有效的中央预算单位政府采购的限额标准，同时本项目的采购内容也未列入现时有效的中央预算单位集中采购目录，因此，本项目并不属于政府采购项目，不适用于《中华人民共和国政府采购法》及其实施条例和政府采购各项部门规章的规定。

采购需求：桌面式反应离子增强沉积刻蚀系统一套

主要用途：基材及复杂的几何构形进行RIE反应离子刻蚀，去胶，沉积镀膜等科研使用需求

交货（或施工、服务）地点：上海市徐汇区梅陇路130号

交货（或施工、服务）期限：一个月

主要技术参数、技术要求或施工内容：采用防腐数字流量计控制，标配三路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。可以通入硅烷偶联剂，实现样品表面的沉积。

安装调试、验收、培训、质保期限、售后服务要求：供应商应负责设备安装调试，并对使用人员进行基本操作、日常维护及注意事项培训。设备主机质保期不少于1年，质保期内因非人为原因产生的质量问题，由供应商免费维修或更换，并提供必要的售后技术支持服务。

备注说明：无

详见采购需求文件。

本项目（是/否）接受联合体：否

二、供应商的资格要求

1.参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条相关规定；

2.本项目的特定资格要求：无

三、获取二级单位采购报价表和采购需求

时间：2026年09月20日 12:00至2026年09月21日 12:00

报名地点：上海市徐汇区梅陇路130号华东理工大学

报名邮箱：minsun2025@ecust.edu.cn

方式：本项目接受现场或通过邮箱获取二级单位采购报价表和采购需求，供应商如确定参加响应，须按要求获取采购文件，否则响应无效。

获取二级单位采购报价表和采购需求须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件。

四、获取二级单位采购报价表和采购需求联系人信息

联系人：孙敏

联系方式： 15556995295；minsun2025@ecust.edu.cn（电话及电子邮箱）

五、提交报价单/响应文件截止时间

截止时间：2026年09月22日12时00分00秒（北京时间）

地点：上海市徐汇区梅陇路130号华东理工大学

六、其他补充事宜

1.此采购公告在华东理工大学采购信息网(http://czzx.ecust.edu.cn/)或华东理工大学主页(https://www.ecust.edu.cn/)中“二级单位采购招标”栏目发布。

七、对本次活动提出询问，请按以下方式联系。

名    称：华东理工大学　　　　

地    址：上海市徐汇区梅陇路130号 　　　

联系方式：

谢老师  021-64252247 （货物及服务项目）　

刘老师  021-64252273 　（工程项目及工程相关货物及服务）