电子束光刻图形发生器采购公告

一、项目基本情况

项目类别：货物

项目编号：03_S2026052001

项目名称：电子束光刻图形发生器

采购方式：比选

预算/最高限价(元)：490000

资金来源：已落实

华东理工大学为部属高校，本项目的采购预算未达到现时有效的中央预算单位政府采购的限额标准，同时本项目的采购内容也未列入现时有效的中央预算单位集中采购目录，因此，本项目并不属于政府采购项目，不适用于《中华人民共和国政府采购法》及其实施条例和政府采购各项部门规章的规定。

采购需求：电子束光刻图形发生器

主要用途：微纳结构加工，用于新材料、新器件的探索性研究

交货（或施工、服务）地点：梅陇路21号

交货（或施工、服务）期限：合同签订后6个月

主要技术参数、技术要求或施工内容：具有不低于20MHz数字信号处理速度；具有矢量扫描刻写方式；具有电子束闸控制输出；带有样品夹、尺寸校准栅网、法拉第杯的EBL专用样品座；无缝集成 GDSII 编辑器，可对曝光图形进行分层设计，具有处理复杂图形的能力。多种扫描方式可供选择，包含：矢量扫描模式，线性扫描等。

安装调试、验收、培训、质保期限、售后服务要求：安装调试：收到甲方通知后5个工作日到达现场 验收：根据主要技术参数逐条验收软硬件功能是否齐全 培训:至少安排2天的培训 质保期限：验收后12个月，或者货到后15个月，以先到者为准（卖方原因导致的验收延迟除外） 售后服务： 中国本地化的售后服务团队，问题响应时间24小时内，到达现场的响应时间72小时内

备注说明：

详见采购需求文件。 

本项目（是/否）接受联合体：否

二、供应商的资格要求

1.参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条相关规定；

2.本项目的特定资格要求：无

三、获取二级单位采购报价表和采购需求

时间：2026年05月20日 15:00至2026年05月22日 15:00

报名地点：梅陇路130号

报名邮箱：jinpengwei@ecust.edu.cn

方式：本项目接受现场或通过邮箱获取二级单位采购报价表和采购需求，供应商如确定参加响应，须按要求获取采购文件，否则响应无效。

获取二级单位采购报价表和采购需求须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件。

四、获取二级单位采购报价表和采购需求联系人信息

联系人：靳老师

联系方式： jinpengwei@ecust.edu.cn（电话及电子邮箱）

五、提交报价单/响应文件截止时间

截止时间：2026年05月22日17时00分00秒（北京时间）

地点：梅陇路130号

六、其他补充事宜

1.此采购公告在华东理工大学采购信息网(http://czzx.ecust.edu.cn/)或华东理工大学主页(https://www.ecust.edu.cn/)中“二级单位采购招标”栏目发布。

七、对本次活动提出询问，请按以下方式联系。

名    称：华东理工大学　　　　

地    址：上海市徐汇区梅陇路130号 　　　

联系方式：

谢老师  021-64252247 （货物及服务项目）　

刘老师  021-64252273 　（工程项目及工程相关货物及服务）